半导体、液晶相关的制造步骤包括晶圆制造、处理、组合、检查4个步骤，氟橡胶系Seal材在需要药品处理或电浆处理的装置中使用很多，但是电浆照射时会引发橡胶劣化，橡胶Seal材物理特性会受到损害，同时在橡胶中所含的无机成分会露出粒子，附着在晶圆上变成不良品。

Nichias开发的耐电浆性优良氟橡胶系Seal材是使用高纯度聚合物，完全没有配入无机充填材，因此电浆暴露后粒子量非常少，且耐裂碎性优异。